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                                                                                             多晶硅生產工藝流程

晶體生長工藝
  直拉法的基本工藝過程是將高純多晶硅塊和微量的摻雜劑放置在石英坩堝中,在真空或高純氬氣氣氛中加熱融化,控制適當的溫度,將籽晶插入熔體,使熔融多晶硅按籽晶的硅原子排列順序結晶凝固成單晶硅。晶體生長工藝包括熔化、縮頸、放肩、等經、收尾等步驟。
區熔法屬于無坩堝法的一種,該法顯著的特點是不用坩堝盛裝熔融硅,而是依靠在高頻電磁場作用下硅的表面張力和電磁力支撐局部融化的硅液,因此又稱為懸浮區熔法,區熔提純的原理是根據熔化的晶體再結晶過程雜質在固相和液相中的濃度不同而達到提純的目的。

                                                                     

                                                                     拉晶車間


                                                                拉晶
 

                                      


                                                   硅棒圖片



                                                        線切

 

2加工工藝

典型的單晶硅片加工工藝流程為:晶棒裁切---切段----切方----滾磨----拋光----切割----清洗---檢驗----包裝。

3檢測

公司擁有完整的硅材料檢測手段,檢測內容包括電學、光學性能檢測,及加工精度檢測


 




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